Motore lineare Tiger: ridefinire il nuovo punto di riferimento per il controllo del movimento di precisione con innovazioni tecnologiche

Motore lineare Tiger: ridefinire il nuovo punto di riferimento per il controllo del movimento di precisione con innovazioni tecnologiche

Nel mezzo dell'ondata di miglioramento dell'automazione industriale verso 'alta precisione, alta integrazione e alta affidabilità', i motori lineari, come componenti esecutivi fondamentali, stanno diventando la chiave per rompere i monopoli tecnologici stranieri e realizzare la sostituzione nazionale in campi critici. Dopo anni di ricerca e sviluppo, abbiamo lanciato il motore lineare ad albero ad alte prestazioni. Con i principali vantaggi di 'dimensioni più piccole, maggiore precisione, risposta più rapida e maggiore durata', fornisce soluzioni di movimento di precisione localizzate per semiconduttori, produzione di precisione e altri campi, ridefinendo gli standard tecnici del settore.

1. Riduzione 'drammatica' dell'ondulazione della spinta

Combinando l'array Halbach con magneti permanenti a gradiente, il tradizionale campo magnetico sinusoidale viene ricostruito in una curva parabolica e polinomiale segmentata. In condizioni di lavoro a 100 Hz, l'ondulazione della spinta viene ridotta dal 15% comune del settore a solo il 2,8% e contemporaneamente il tasso di distorsione dei dati viene ridotto al 2,8%. Ciò risolve completamente il problema delle 'vibrazioni' durante il funzionamento ad alta frequenza e garantisce risultati stabili con precisione inferiore al micron in scenari come l'ispezione dei wafer e lo smistamento degli stampi.

2. Miglioramento della 'piegatura multipla' nella risposta dinamica

Ottimizzando il controllo del disaccoppiamento della coppia elettromagnetica e della coppia di riluttanza, il tempo di risposta dinamica viene ridotto da 50 ms a 8 ms, il che equivale a un miglioramento di oltre 5 volte nella 'velocità di risposta' dell'apparecchiatura. Ciò soddisfa facilmente la richiesta di 'avvio-arresto ad alta frequenza' delle apparecchiature per la pulizia dei semiconduttori. In combinazione con la capacità operativa ad alta velocità di ≤4 m/s, consente un salto di qualità nell'efficienza della linea di produzione.

3. 'Doppia innovazione' in termini di dimensioni e prestazioni

L'innovativo design strutturale ad albero, rispetto ai tradizionali motori lineari di tipo piatto e di tipo U, riduce le dimensioni di oltre il 30% ottenendo una spinta continua massima di 3000 N. Si adatta perfettamente alla richiesta di 'struttura compatta e miniaturizzazione dei componenti interni' nelle apparecchiature per semiconduttori e può essere incorporato direttamente nello spazio ristretto dei selezionatori di stampi senza ulteriori modifiche alla struttura delle apparecchiature, risolvendo il punto dolente del settore relativo alle 'dimensioni ridotte con le stesse prestazioni meccaniche'.