Линейный двигатель Tiger: новый стандарт точного управления движением с помощью технологических прорывов

Линейный двигатель Tiger: новый стандарт точного управления движением с помощью технологических прорывов

На волне модернизации промышленной автоматизации в сторону «высокой точности, высокой интеграции и высокой надежности» линейные двигатели, как основные исполнительные компоненты, становятся ключом к разрушению иностранных технологических монополий и реализации внутреннего замещения в критически важных областях. После многих лет исследований и разработок мы выпустили высокопроизводительный линейный двигатель с валом. Обладая основными преимуществами «меньшего размера, более высокой точности, более быстрого реагирования и длительного срока службы», он обеспечивает решения для локализованного прецизионного перемещения для полупроводников, прецизионного производства и других областей, переопределяя технические стандарты отрасли.

1. «Значительное» уменьшение пульсаций тяги.

Путем объединения массива Хальбаха с градиентными постоянными магнитами традиционное синусоидальное магнитное поле реконструируется в сегментированную параболическую и полиномиальную кривую. При рабочем режиме 100 Гц пульсация тяги снижается с обычных в отрасли 15% до всего лишь 2,8%, а уровень искажения данных одновременно снижается до 2,8%. Это полностью решает проблему «вибрации» во время высокочастотной работы и обеспечивает стабильную точность субмикронного уровня в таких сценариях, как проверка пластин и сортировка кристаллов.

2. «Многократное» улучшение динамического отклика.

За счет оптимизации управления развязкой электромагнитного и реактивного крутящего момента время динамического отклика сокращается с 50 мс до 8 мс, что эквивалентно более чем пятикратному улучшению «скорости отклика» оборудования. Это легко удовлетворяет требованиям «высокочастотного старт-стоп» оборудования для очистки полупроводников. В сочетании с высокой скоростью работы (<4 м/с) это обеспечивает качественный скачок в эффективности производственной линии.

3. «Двойной прорыв» в размерах и производительности

Инновационная конструкция вала по сравнению с традиционными линейными двигателями плоского и U-образного типа позволяет уменьшить размер более чем на 30%, обеспечивая при этом максимальную непрерывную тягу 3000 Н. Он идеально адаптируется к требованию «компактной структуры и миниатюризации внутренних компонентов» в полупроводниковом оборудовании и может быть непосредственно встроен в узкое пространство сортировщиков без дополнительной модификации конструкции оборудования, решая проблему «малых размеров при одинаковых механических характеристиках» отрасли.