Tiger 선형 모터: 기술적 혁신으로 정밀 모션 제어의 새로운 벤치마크 재정의
산업 자동화가 '고정밀, 고집적, 고신뢰성'으로 업그레이드되는 흐름 속에서 핵심 실행 부품인 리니어 모터는 외국의 기술 독점을 무너뜨리고 중요한 분야에서 국내 대체를 실현하는 열쇠가 되고 있습니다. 수년간의 연구개발 끝에 고성능 샤프트형 리니어 모터를 출시했습니다. '더 작은 크기, 더 높은 정밀도, 더 빠른 응답 및 더 긴 서비스 수명'이라는 핵심 이점을 통해 반도체, 정밀 제조 및 기타 분야에 국지화된 정밀 모션 솔루션을 제공하여 업계 기술 표준을 재정의합니다.
1. 추력 리플의 '획기적인' 감소
Halbach 어레이를 경사 영구 자석과 결합함으로써 전통적인 정현파 자기장은 분할된 포물선 및 다항식 곡선으로 재구성됩니다. 100Hz 작동 조건에서 추력 리플은 업계 공통 15%에서 단 2.8%로 감소하고 동시에 데이터 왜곡률도 2.8%로 감소합니다. 이는 고주파 작동 중 '진동' 문제를 완전히 해결하고 웨이퍼 검사 및 다이 정렬과 같은 시나리오에서 안정적인 서브미크론 수준의 정밀 출력을 보장합니다.
2. 동적 응답의 'Multi-Fold' 개선
전자기 토크와 릴럭턴스 토크의 디커플링 제어를 최적화함으로써 동적 응답 시간이 50ms에서 8ms로 단축됩니다. 이는 장비의 '응답 속도'가 5배 이상 향상된 것과 같습니다. 이는 반도체 세정 장비의 '고주파 스타트-스톱' 요구 사항을 쉽게 충족합니다. 4m/s 이하의 고속 작동 능력과 결합되어 생산 라인 효율성의 질적 도약을 달성합니다.
3. 크기와 성능의 '이중 혁신'
혁신적인 샤프트형 구조 설계로 기존 플랫형 및 U형 리니어 모터에 비해 크기를 30% 이상 줄이면서 최대 연속 추력 3000N을 달성했습니다. 반도체 장비의 '컴팩트한 구조와 내부 부품의 소형화' 요구에 완벽하게 적응하며, 추가적인 장비 구조 수정 없이 다이소터의 좁은 공간에 직접 내장할 수 있어 '작은 크기, 동일한 기계적 성능'이라는 업계의 문제점을 해결합니다.
