Động cơ tuyến tính Tiger: Xác định lại tiêu chuẩn mới cho điều khiển chuyển động chính xác với những đột phá về công nghệ

Động cơ tuyến tính Tiger: Xác định lại tiêu chuẩn mới cho điều khiển chuyển động chính xác với những đột phá về công nghệ

Trong làn sóng nâng cấp tự động hóa công nghiệp theo hướng 'độ chính xác cao, tích hợp cao và độ tin cậy cao', động cơ tuyến tính, với tư cách là bộ phận điều hành cốt lõi, đang trở thành chìa khóa để phá vỡ sự độc quyền công nghệ nước ngoài và hiện thực hóa sự thay thế trong nước trong các lĩnh vực quan trọng. Sau nhiều năm nghiên cứu và phát triển, chúng tôi đã cho ra mắt động cơ tuyến tính loại trục hiệu suất cao. Với lợi thế cốt lõi là 'kích thước nhỏ hơn, độ chính xác cao hơn, phản hồi nhanh hơn và tuổi thọ dài hơn', nó cung cấp các giải pháp chuyển động chính xác cục bộ cho chất bán dẫn, sản xuất chính xác và các lĩnh vực khác, xác định lại các tiêu chuẩn kỹ thuật của ngành.

1. Giảm gợn sóng 'Kịch tính'

Bằng cách kết hợp mảng Halbach với nam châm vĩnh cửu gradient, từ trường hình sin truyền thống được tái tạo thành đường cong parabol và đa thức phân đoạn. Trong điều kiện làm việc 100Hz, gợn sóng lực đẩy giảm từ 15% phổ biến trong ngành xuống chỉ còn 2,8% và tốc độ biến dạng dữ liệu đồng thời giảm xuống 2,8%. Điều này giải quyết hoàn toàn vấn đề 'rung động' trong quá trình vận hành tần số cao và đảm bảo đầu ra ổn định ở mức độ dưới micron trong các tình huống như kiểm tra tấm bán dẫn và phân loại khuôn.

2. Cải thiện khả năng phản hồi động 'Đa lần'

Thông qua việc tối ưu hóa khả năng điều khiển tách mô-men xoắn điện từ và mô-men xoắn từ trở, thời gian phản hồi động giảm từ 50 mili giây xuống 8 mili giây, tương đương với mức cải thiện hơn 5 lần về 'tốc độ phản hồi' của thiết bị. Điều này dễ dàng đáp ứng nhu cầu 'khởi động và dừng tần số cao' của thiết bị làm sạch chất bán dẫn. Kết hợp với khả năng vận hành tốc độ cao ≤4m/s, nó đạt được bước nhảy vọt về chất lượng trong hiệu suất dây chuyền sản xuất.

3. 'Đột phá kép' về quy mô và hiệu suất

Thiết kế cấu trúc kiểu trục cải tiến, so với động cơ tuyến tính loại phẳng và loại chữ U truyền thống, giúp giảm kích thước hơn 30% trong khi đạt được lực đẩy liên tục tối đa 3000N. Nó hoàn toàn thích ứng với nhu cầu về 'cấu trúc nhỏ gọn và thu nhỏ các bộ phận bên trong' trong thiết bị bán dẫn và có thể được nhúng trực tiếp vào không gian hẹp của máy phân loại khuôn mà không cần sửa đổi cấu trúc thiết bị bổ sung, giải quyết điểm yếu của ngành là 'kích thước nhỏ với cùng hiệu suất cơ học'.