Tiger-Linearmotor: Mit technologischen Durchbrüchen wird der neue Maßstab für präzise Bewegungssteuerung neu definiert

Tiger-Linearmotor: Mit technologischen Durchbrüchen wird der neue Maßstab für präzise Bewegungssteuerung neu definiert

Inmitten der Welle der Modernisierung der industriellen Automatisierung hin zu „hoher Präzision, hoher Integration und hoher Zuverlässigkeit“ werden Linearmotoren als zentrale Führungskomponenten zum Schlüssel für den Bruch ausländischer Technologiemonopole und die Verwirklichung inländischer Substitution in kritischen Bereichen. Nach Jahren der Forschung und Entwicklung haben wir den Hochleistungs-Wellenlinearmotor auf den Markt gebracht. Mit den Kernvorteilen „kleinere Größe, höhere Präzision, schnellere Reaktion und längere Lebensdauer“ bietet es lokalisierte Präzisionsbewegungslösungen für Halbleiter, Präzisionsfertigung und andere Bereiche und definiert damit die technischen Standards der Branche neu.

1. „Dramatische“ Reduzierung der Schubwelligkeit

Durch die Kombination des Halbach-Arrays mit Gradienten-Permanentmagneten wird das traditionelle sinusförmige Magnetfeld in eine segmentierte parabolische und polynomische Kurve rekonstruiert. Unter der 100-Hz-Betriebsbedingung wird die Schubwelligkeit von branchenüblichen 15 % auf nur 2,8 % reduziert, und gleichzeitig wird die Datenverzerrungsrate auf 2,8 % reduziert. Dies löst das „Vibrationsproblem“ während des Hochfrequenzbetriebs vollständig und sorgt für eine stabile Präzisionsausgabe im Submikrometerbereich in Szenarien wie der Waferinspektion und der Chipsortierung.

2. „Mehrfache“ Verbesserung der dynamischen Reaktion

Durch die Optimierung der Entkopplungssteuerung von elektromagnetischem Drehmoment und Reluktanzdrehmoment wird die dynamische Reaktionszeit von 50 ms auf 8 ms reduziert, was einer mehr als fünffachen Verbesserung der „Reaktionsgeschwindigkeit“ des Geräts entspricht. Dies erfüllt problemlos die „Hochfrequenz-Start-Stopp“-Anforderung von Halbleiter-Reinigungsgeräten. In Kombination mit der Hochgeschwindigkeitsbetriebsfähigkeit von ≤4 m/s wird ein qualitativer Sprung in der Effizienz der Produktionslinie erzielt.

3. „Doppelte Durchbrüche“ in Größe und Leistung

Das innovative wellenförmige Strukturdesign reduziert im Vergleich zu herkömmlichen Flach- und U-Linearmotoren die Größe um mehr als 30 % und erreicht gleichzeitig eine maximale Dauerkraft von 3000 N. Es passt sich perfekt der Forderung nach „kompakter Struktur und Miniaturisierung interner Komponenten“ in Halbleitergeräten an und kann ohne zusätzliche Modifikation der Gerätestruktur direkt in den engen Raum von Chipsortierern eingebettet werden, wodurch das Branchenproblem „kleine Größe bei gleicher mechanischer Leistung“ gelöst wird.