ビュー: 0 著者: サイト編集者 公開時間: 2025-10-31 起源: サイト
Tiger リニアモーター: 技術的ブレークスルーで高精度モーション制御の新しいベンチマークを再定義
「高精度、高集積、高信頼性」に向けた産業オートメーションの高度化の波の中で、中核的な実行コンポーネントとしてのリニアモータは、海外の技術独占を打破し、重要な分野で国内代替を実現する鍵となりつつあります。長年の研究開発を経て、高性能シャフト型リニアモータを製品化しました。 「小型化、高精度、高速応答、長寿命」という主な利点により、半導体、精密製造、その他の分野に局所的な精密モーション ソリューションを提供し、業界の技術標準を再定義します。
1. 推力リップルを「劇的」に低減
ハルバッハ配列と傾斜永久磁石を組み合わせることで、従来の正弦波磁場がセグメント化された放物線状の多項式曲線に再構築されます。 100Hz の動作条件下では、推力リップルは業界標準の 15% からわずか 2.8% に減少し、同時にデータ歪み率も 2.8% に減少します。これにより、高周波動作時の「振動」問題が完全に解決され、ウェーハ検査やダイソートなどのシナリオで安定したサブミクロンレベルの精度出力が保証されます。
2. 「マルチフォールド」による動的応答の改善
電磁トルクとリラクタンストルクのデカップリング制御の最適化により、動的応答時間が50msから8msに短縮され、機器の「応答速度」が5倍以上向上しました。半導体洗浄装置の「高頻度起動・停止」要求にも容易に対応します。 ≤4m/s の高速動作能力と組み合わせることで、生産ライン効率の質的飛躍を実現します。
3. サイズとパフォーマンスにおける「二重の画期的な進歩」
革新的なシャフト型構造設計により、従来の扁平型やU型リニアモーターと比較して、30％以上の小型化を実現しながら、最大連続推力3000Nを実現しました。半導体装置における「構造のコンパクト化と内部部品の小型化」の要求に完全に対応し、装置構造を追加変更することなくダイソーターの狭いスペースに直接組み込むことができ、「同じ機械性能で小型化」という業界の課題を解決します。
